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日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時(shí)間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1036次

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

        CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒，增強(qiáng)了葉片強(qiáng)度、減輕了轉(zhuǎn)子重量，縮短了啟動(dòng)時(shí)間，降低了機(jī)械損耗，增加了使用壽命。

 

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 二、壓縮比曲線和抽數(shù)曲圖

        

 

 

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵 三、主要性能指標(biāo)

 

型號(hào)

CFB-3600

進(jìn)氣口法蘭

—


LF400

排氣口法蘭

—

LF100

抽氣速率

L/s

3600

壓縮比N2/H2

—

1×108/5×102

極限壓強(qiáng)

Pa

2×10-6

電機(jī)轉(zhuǎn)速

rpm

12600

啟動(dòng)時(shí)間

min

＜10

停機(jī)時(shí)間

min

＜20

振動(dòng)值

μm

≤0.15

前極泵

L/s

30-70

冷卻水溫度

℃

≤25

泵體烘烤溫度

℃

<120

冷卻水流量

L/min

1

安裝方向

—

垂直±5°

重量

kg

～100

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